微型真空电动执行器
微型真空电动执行器采用陶瓷轴承与无油润滑运动，满足高真空要求，并具有低放气特性。通过特殊材料、润滑和结构设计，可在真空深低温、高温及辐照等极端环境下实现长寿命、高精度平稳运动，确保稳定运行，广泛应用于半导体制造、航空航天、科学仪器、精密光学、核工业等行业。
真 空 度：10-9Pa
环境温度：-80～+200℃
辐射强度：1x106Gy
运动分辨率：约1nm
最小步距：≤20nm
微型真空电动执行器适⽤于高真空、深低温、超⾼温、辐射等严酷环境
温度等级代码表
| 温度等级 | 等级代码 | 温度范围（℃） | 最高真空度（Pa,可选） | 耐辐照剂量( Gy ) |
| 真空、辐照、高低温 | VHT1 | -40~+85 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
| 真空、辐照、高温 | VHT2 | -40~+150 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
| 真空、辐照、超高温 | VHT3 | -20~+200 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
| 真空、辐照、高低温 | VHT4 | -80~+120 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
*真空度代码： V0:正常大气环境 V1:低气压或真空度10-1Pa V3:低气压或真空度10-3Pa V5:真空度10-5Pa V7:真空度10-7Pa V9:真空度10-9Pa
耐辐照代码： RAD1K:1x1000Gy RAD10K:1x10000Gy RAD100K:1x105Gy RAD1M:1x106Gy
我们可以提供的特种真空电动执行器类型有：
真空电动执行器厂家 真空电动执行器厂家
真空电动执行器厂家 百级千级洁净无油真空电动执行器
| 型号 | 推力（N） | 行程（mm） | 最小增量步长（nm） | 重复度（um） | |
| KLA-AC-300 | 300 | ±3 | 20 | ±2 | |
| KLA-AC-600 | 600 | ±10 | 18 | ±2 | |
更多产品详情，联系我们获取产品选型样本。
电 话（微信同号）：18224448086王工、13880663726罗工
邮 箱：SALES@KINGSNI.COM
参数
适用环境
性能参数
规格总览
性能特点
型号规格
配置选项
驱动器
行业应用
技术资料
真 空 度：10-9Pa
环境温度：-80～+200℃
辐射强度：1x106Gy
运动分辨率：约1nm
最小步距：≤20nm
微型真空电动执行器适⽤于高真空、深低温、超⾼温、辐射等严酷环境
温度等级代码表
| 温度等级 | 等级代码 | 温度范围（℃） | 最高真空度（Pa,可选） | 耐辐照剂量( Gy ) |
| 真空、辐照、高低温 | VHT1 | -40~+85 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
| 真空、辐照、高温 | VHT2 | -40~+150 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
| 真空、辐照、超高温 | VHT3 | -20~+200 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
| 真空、辐照、高低温 | VHT4 | -80~+120 | 10-1/10-3/10-5/10-7/10-9 | 1x1000 / 1x10000 / 1x105/ 1x106 |
*真空度代码： V0:正常大气环境 V1:低气压或真空度10-1Pa V3:低气压或真空度10-3Pa V5:真空度10-5Pa V7:真空度10-7Pa V9:真空度10-9Pa
耐辐照代码： RAD1K:1x1000Gy RAD10K:1x10000Gy RAD100K:1x105Gy RAD1M:1x106Gy
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| 型号 | 推力（N） | 行程（mm） | 最小增量步长（nm） | 重复度（um） | |
| KLA-AC-300 | 300 | ±3 | 20 | ±2 | |
| KLA-AC-600 | 600 | ±10 | 18 | ±2 | |
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