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2022

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半导体制造


半导体器件的生产,除需要超净的环境外,有些工序还必须在真空中进行。比如很多半导体器件,如光碟机(CD、VCD和DVD)和光纤通信中用的半导体激光器,雷达或卫星通信设备中的微波集成电路,甚至许多普通的微电子集成电路,都有相当部分的制作工序是在真空容器中进行的。真空程度越高,制作出来的半导体器件的性能也就越好。现在,很多高性能的半导体器件都是在超高真空环境中制作出来的。

半导体制造设备大量采用步进电机、伺服电机以及精密机械传动部件,以实现设备的自动化和智能化,同时也要求电机和机械传动部件能在高真空、高低温环境长期稳定工作,并具有低逸气性能,不污染真空环境。

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