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半导体制造
- 分类:行业应用
- 作者:
- 来源:
- 发布时间:2021-09-15
【概要描述】半导体制造 应用简述:电子元器件测试分选设备的三轴直角坐标机械手,在视觉系统引导下,取放电子元器件,进行测试和分选 应用挑战:高低温环境:低温-70℃、高温120℃真空环境:10-5Pa定位精度:小于0.05mm龙门结构:Y轴跨度大,X轴需采用龙门双驱动 应用图片 KLS系列真空、高低温直线模组:X-Y-Z轴直线传动KECM系列真空、高低温伺服电机:X-Y-Z轴伺服驱动 KVM系列真空、高低温步进电机
半导体制造
【概要描述】半导体制造 应用简述:电子元器件测试分选设备的三轴直角坐标机械手,在视觉系统引导下,取放电子元器件,进行测试和分选 应用挑战:高低温环境:低温-70℃、高温120℃真空环境:10-5Pa定位精度:小于0.05mm龙门结构:Y轴跨度大,X轴需采用龙门双驱动 应用图片 KLS系列真空、高低温直线模组:X-Y-Z轴直线传动KECM系列真空、高低温伺服电机:X-Y-Z轴伺服驱动 KVM系列真空、高低温步进电机
- 分类:行业应用
- 作者:
- 来源:
- 发布时间:2021-09-15
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半导体制造
应用简述:电子元器件测试分选设备的三轴直角坐标机械手,在视觉系统引导下,取放电子元器件,进行测试和分选。
应用挑战:
高低温环境:低温-70℃、高温120℃
真空环境:10-5Pa
定位精度:小于0.05mm
龙门结构:Y轴跨度大,X轴需采用龙门双驱动
产品应用:
KLS系列真空、高低温直线模组:X-Y-Z轴直线传动
KECM系列真空、高低温伺服电机:X-Y-Z轴伺服驱动
KVM系列真空、高低温步进电机:Z轴工具端旋转

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