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真空、高温、深低温模组
真空、高温、深低温模组
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真空机器人（真空模组），可以在10-7Pa的真空环境下运行，耐温达200℃，真 空机器人的设计首要考虑机构和材料，此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨 胀系数相当的并且出气率底的材料，此系列产品主要应用于真空室、高温室、高洁净 度等环境中。
