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真空、高温、深低温模组

概要:真空机器人（真空模组），可以在10-7Pa的真空环境下运行，耐温达200℃，真空机器人的设计首要考虑机构和材料，此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率底的材料，此系列产品主要应用于真空室、高温室、高洁净度等环境中。

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　　真空机器人（真空模组），可以在10^-7Pa的真空环境下运行，耐温达200℃，真空机器人的设计首要考虑机构和材料，此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率底的材料，此系列产品主要应用于真空室、高温室、高洁净度等环境中。

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